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Réalisée dans le cadre de l’opération TEMIS SCIENCES, l’extension de la salle blanche de TEMIS INNOVATION - Maison des microtechniques permet de doubler les surfaces dédiées aux travaux de microfabrication sous atmosphère contrôlée. Doté des équipements technologiques les plus pointus, ce nouvel ensemble représente une véritable opportunité pour les chercheurs de FEMTO-ST, pour ses partenaires académiques et industriels, de rester dans la compétition internationale dans le domaine des micro et nanotechnologies.

Un univers d’extrême propreté
pour la micro et la nanofabrication

Avec 850 m² supplémentaires, l’ensemble de la salle blanche s’étend désormais sur 1 400 m² dont 865 m² de locaux de classe ISO 5 à 7. Pilotée par l’Institut FEMTO-ST avec 15 ingénieurs et techniciens dédiés à son animation, la salle blanche abrite les équipements de lithographie, de dépôt de matériaux présentant des propriétés différentes (piézoélectriques, isolantes, conductrices) et de gravure. S’y ajoutent les ressources de caractérisation ou encore de connectique packaging (conditionnement du composant final).

Avec ses 13 millions d’euros d’équipements, qui pour l’essentiel étaient auparavant dispersés sur des lieux distincts, la nouvelle salle blanche est un outil décisif pour les chercheurs du laboratoire FEMTO-ST mais également pour les entreprises qui pourront aussi y avoir accès. Une opportunité, notamment pour les start-up comme pour les PME d’utiliser ces ressources exceptionnelles qui leur sont trop souvent inaccessibles.

Conduite sous maîtrise d’ouvrage de la Région Franche-Comté, l’extension de la salle blanche aura mobilisé près de 4 M€.

Contact
Institut FEMTO-ST
Jean-Claude Jeannot
Tél. +33 (0)3 81 85 39 75
E-mail : jcjeannot@femto-st.fr